1、渗氮前的零件表面清洗
通常使用气体去油法去油后立刻渗氮。
2、排除渗氮炉中的空气
将被处理零件置于渗氮炉中，并将炉盖密封后即可加热，但加热至150℃以前须作排除炉内空气工作。
3、氨的分解率
渗氮是其它合金元素与初生态的氮接触而进行（初生态氮的产生，由氨气与加热中的零件接触时零件本身成为触媒而促进氨的分解），虽然在各种分解率的氨气下，皆可渗氮，但一般都采用15～30%的分解率，并按渗氮所需厚度保持4～10小时，处理温度保持在520℃左右。
4、冷却
大部分的工业用渗氮炉都有热交换机，在渗氮工作完成后冷却加热炉及被处理零件。即渗氮完成后，将加热电源关闭，使炉温降低约50℃，然后将氨的流量增加一倍后开启热交换机，此时须注意确认炉内压力为正压。
