薄膜在线测厚仪的组成

1、薄膜在线测厚仪是一款由探测系统、人机交互设备、电脑实时监控系统这三部分组成

3、仪器的光源是可以定制不同波长的，可定制的波长有红外850nm，950nm，绿光530nm，白光380-760nm和紫外365mn，仪器默认测量波长是红外850nm，并且仪器最多可定制45个测试点。

5、最后是　电脑实时监控系统，这是用来氇监煜紊记录数据并分析，还能生成报表的一个软件。在电脑实时监控系统里中还可以设置测量的上限值和下限值，如果在检测过程中，测量出的数据高于或低于限值仪器的警报灯就会报警，提醒技术人员或通讯设备及时发现问题并更改工艺。